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发布时间:2022-09-05 14:23:42
氦质谱检漏仪的应用
(1)电子行业,微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。
(2)真空行业,仪器、仪表行业,管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、镀膜机、薄膜真空计。
(3)核工业,铀分离装置、存储装置、核发电装置。
(4)制冷行业,冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。
(5)不锈钢保温器皿,真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
(6)核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、军事电子六大类。
氦质谱检漏仪的结构
质谱室,形象的说,质谱室是氦质谱检漏仪的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成,有时还需要配置辅助的真空系统。
检漏的重要性
氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应,很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如***物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
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