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氦质谱检漏仪的应用

氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。航空航天高科技工业，例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

氦质谱检漏仪是如何工作的？

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1，M3）则以不同的偏转半径而被分开。

氦质谱检漏仪应用行业

单晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空炉 ，镀膜机，互感器，避雷器，C-GIS组合电器，电力开关，真空灭弧室，高真空阀门 ，LED外延片，出口灭火器，X射线管，石化换热器，磁流体，密封继电器，气体流量计 ，隔膜压力变送器 ，气体发生器  ，ITO镀膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，压力容器  ，化工容器，低温储罐  ，LNG 低温气瓶 ，玻璃烧结件，陶瓷密封连接器 ，陶瓷烧结件 ，TO封装 ，高真空排气台，真空冻干机 ，光器件，石英晶体谐振器，高压开关，换热器，电真空器件，SF6管路，波纹管，ITO设备，半导体，辐照电线电缆 交联电线电缆，真空钎焊，真空热处理等。