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真空泵的***

　真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时***或根据不同使用工艺条件缩短***周期

真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏

定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油品质量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照***指导书进行***；或者根据实际使用工况进行***。

真空泵的主要部件

1) 叶轮

叶轮的作用是将原动机的机械能直接传给液体，以增加液体的静压能和动能(主要增加静压能)。

叶轮一般有6~12片后弯叶片。

叶轮有开式、半闭式和闭式三种。

开式叶轮在叶片两侧无盖板，制造简单、清洗方便，适用于输送含有较大量悬浮物的物料，效率较低，输送的液体压力不高;半闭式叶轮在吸入口一侧无盖板，而在另一侧有盖板，适用于输送易沉淀或含有颗粒的物料，效率也较低;闭式叶轮在叶轮在叶片两侧有前后盖板适用于输送不含杂质的清洁液体。一般的离心真空泵叶轮多为此类。

叶轮有单吸和双吸两种吸液方式。

2) 真空泵壳

作用是将叶轮封闭在一定的空间，以便由叶轮的作用吸入和压出液体。真空泵壳多做成蜗壳形，故又称蜗壳。由于流道截面积逐渐扩大，故从叶轮四周甩出的高速液体逐渐降低流速，使部分动能有效地转换为静压能。真空泵壳不仅汇集由叶轮甩出的液体，同时又是一个能量转换装置。

3 )轴封装置

作用是防止真空泵壳内液体沿轴漏出或外界空气漏入真空泵壳内。

常用轴封装置有填料密封和机械密封两种。

真空泵的应用

1、主泵。在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵。从大气压开始，降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵，

3、前级泵用以使另一个泵的前级压力维持在其许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。

4、维持泵。在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。