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真空泵的基础单位

1、真空泵的极限压强，真空泵的极限压强的单位是PA，指的是真空泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。

2、真空泵的抽气速率，真空泵的抽气速率单位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩的位置测得的平衡压强之比。简称为泵的抽速。

3、真空泵的抽气量，真空泵的抽气量是指泵入口的气体流量。真空泵的抽气量单位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。

4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强是指真空泵无损坏起动并有抽气作用时的压强，单位为Pa。

螺杆真空泵的原理

螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。

真空泵的排气过滤

由于真空泵运行时需要使用润滑油、真空泵油等，所以其排出的气体中会含有很多油雾颗粒，如果不进行分离处理，那么这些油雾颗粒就会随着废气一起排出来，污染工厂的空气和环境。而且真空泵油使用得非常快，每天都要给真空泵加油，于是就需要真空泵滤芯对排放出的气体进行过滤。废气在排出时需要通过真空泵滤芯的滤纸，制作滤纸的材料很特殊，具有非常高的精度，而油雾颗粒是液体形态，不能直接穿过滤纸，所以就只能被过滤出来，附着在滤纸上面，积少成多，慢慢地，这些油雾颗粒会聚成油再流回真空泵内部，而过滤后不含油雾颗粒的气体则顺利通过滤纸排出。