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发布时间:2021-11-22 01:10:05
氦质谱检漏仪应用行业
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氦质谱检漏仪发展历程
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年,一次期间,欧洲***因和的需要就开始接触检漏,并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作,直到1941年,当时正处于第二次期中。当时,科学家获知德国正在研制一种新型。这种的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的裂变现象。罗斯福认为必须抢先达到此目的,加之第二年的珍珠港事件加速诞生了“曼哈顿”计划。这个计划的两个目标之一就是研制(即)。为此,必须研制超高灵敏的检漏仪。其原因还得从的浓缩谈起。
氦质谱检漏仪的优点集中体现在这4个方面
(1)便携式:很多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。 (3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。 (4)全无油的干式检漏:有些***生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。 为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如可通过采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了良好的条件。
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