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氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外，还有几组主要电路：

1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。

2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。

5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被***后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。

正压法氦质谱检漏的优缺点

正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以准确***，实现任何工作压力下的检测。

正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。

正压法的检测标准主要有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱吸枪罩盒检漏试验方法》，主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。