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发布时间:2021-11-18 00:35:36
真空泵的基础单位
1、真空泵的极限压强,真空泵的极限压强的单位是PA,指的是真空泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的低压强。
2、真空泵的抽气速率,真空泵的抽气速率单位是有L/s、m3/h、L/min、m3/min等,是指泵装有标准试验罩,并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩的位置测得的平衡压强之比。简称为泵的抽速。
3、真空泵的抽气量,真空泵的抽气量是指泵入口的气体流量。真空泵的抽气量单位是Pam3/s、PaL/s、mbarL/s等。
4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强是指真空泵无损坏起动并有抽气作用时的压强,单位为Pa。
真空泵选型方法
选择真空机组:
(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。
(2) 有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
真空泵选型
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵的定子曲线要求
真空泵的定子曲线对其抽气速率等性能参数有直接影响,因而,获得出色的定子曲线对真空泵的计划至关重要。关于真空泵的定子曲线,有以下几点恳求:
(1)适合的两点距离
由于叶片选用一体计划,刚性增强,某一端的弹性一定构成另一端相应的弹性。所以,不论转子转到嘟个角度。曲线有必要确保一同与旋片两头接触。坚持合理的空隙.防止出现脱空现象而致使泄泊增加。
(2)叶片无冲击振动,噪声出色
滑润的定子曲线也不能有过大的加速度,加速度过大会致使旋片某一端对定子曲线外表的压皿力的增大,会增加磨损和嗓音。但是假设定子曲线上某一点的径向速度发作变化,则该点上的径向加速度。理论上的等于无穷大。若a为无穷大。则叶片在这一点将出现霎时间脱离,发作很大的冲击力。构成很大的嗓声和严重的磨投。为了消除这一现象,恳求定子曲线遍地光滑连续,滑润过波。
(3)有较大的抽气速率
新的定子曲线在增大抽气速率的一同,也应当具有现有曲线的速度和加速度特性。现在,真空泵的定子曲线主要以正圆曲线为主。主要是考虑到正回曲线具有出色的速度和加速度特性,减少了真空泵作业过程中的嗓音和冲击。
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