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氦质谱检漏仪概述

氦质谱检漏仪为气体工业领域名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

氦质谱检漏仪的结构

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

氦质谱检漏仪分析器的作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动从而将它们彼此分开，仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。

氦质谱检漏仪分析器的出口电极一般采用三栅结构。在离子收集极前面有三个栅极G1、G2、G3。G1和G3接地，中间栅极G2与离化室相连。G1栅的狭缝决定了氦离子的运动半径，而使除氦以外的其他离子打不到收集极上去。中间栅极G2的正电位对于正离子而言相当于一个拒斥电场，只有具有一定能量的氦离子才能通过G2的狭缝，而由于碰撞失去能量的其他杂散离子即使进入G1狭缝，也不能通过G2狭缝到达收集极，使收集极的氦离子流不受这些杂散离子的干扰。栅极G3是***离子在收集极上打出的二次电子不跑向G2，使它仍返回收集极，以防离子流的不稳定。

背压法氦质谱检漏的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏标准主要有QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》，主要应用于各种电子元器件产品检漏。